洁净室检测洁净室空气检测

新洁净室在给客户验收时候一般会要求做洁净室检测洁净室空气检测。洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。

洁净室检测洁净室空气检测项目

一、洁净室综合性能: 1.悬浮粒子数; 2.浮游菌; 3.沉降菌; 4.温度 5.相对湿度; 6.换气次数; 7.风量和风速; 8.静压差; 9.照度; 10.噪声级; 11.高效过滤器检漏; 12.自净时间; 13.污染泄漏。

二、灭菌器性能验证: 1.温度分布与控制 ――空载热分布试验; ――装载热分布试验; ――热穿透试验。 2.灭菌温度与时间; 3.灭菌效果(生物挑战性试验)。

洁净室相关方法标准:

洁净室综合性能检测方法

无尘室洁净度参照标准

洁净室施工及验收规范

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